離子槍 （IS40E1）及配套電源

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描述：

IS 40E1離子源是一個擁有雙透鏡，取樣器類型，可聚焦，差動泵離子槍。離子源能夠在推薦的工作距離處對表面的10 mm x 10 mm區(qū)域進行光柵掃描。它特別適用于XPS(X射線光電子能譜)、ISS（離子散射譜分析）和SIMS(二次離子質譜)中的深度剖析。該源還可用于樣品表面清洗。

特征：

1特殊配置鼻錐；

2可使用惰性氣體(Ar)和活潑性氣體(O2, H2，碳氫化合物)，活潑性氣體，會使壽命縮短；

3連續(xù)可變的光斑（離子束照射區(qū)域）大??；

4可更換燈絲；

5超高真空氣體入口；

6腔室可保留超高真空條件；

7集成掃描和偏轉模塊；

8可修正入射電子束角度（電子束由IS40-PS適配器提供）

可選項：

1Wien質量過濾器

2氣體計量系統(tǒng)

3線性移動距離：25，50,75,100mm

4差動泵（2級）

技術數(shù)據(jù)

安裝法蘭               DN 40 CF (可旋轉)

氣體                     可使用惰性氣體(Ar)和活潑性氣體(O2, H2，碳氫化合物)，活潑性氣體，會使壽命縮短

能量范圍               0.15 keV - 5 keV

掃描區(qū)域               10 mm × 10 mm (23mm的距離)

電流密度               可達4 mA/cm2 (23mm的距離)

離子束電流            大于1uA（23mm的距離）

陰極類型                銥（鍍氧化釔涂層）

小錐角                   50度

真空側                   無磁性部件

插入深度                163毫米；外徑：34毫米

半峰寬度（FWHM）取決于工作距離（例如，對于23 mm的距離，<150μm）

典型工作距離          23 - 120 mm

烘烤溫度                可達250攝氏度

工作壓力                10^-8毫巴（最大束電流的情況下）

IS40E1電源

描述：

   IS40-PS電源適配器驅動IS40E1掃描離子源。允許微調(diào)主離子束能量，離子密度和離子束輪廓（通過調(diào)節(jié)取樣器，聚焦透鏡，偏轉和定位元件來完成。）

  通過數(shù)字編碼器可以改變4個參數(shù)。每個參數(shù)的當前狀態(tài)都可以顯示在LCD面板上。所有設置可以手動調(diào)節(jié)，可以被存儲，開機后，會自動喚醒這些設置。

  該設備還具有內(nèi)置定時器和自動待機模式。通過USB端口輕松更新固件?？梢酝ㄟ^RS232/485或者以太網(wǎng)界面遠程控制。該裝置具有自動保存功能（設備保存您的參數(shù)，預設并在重新啟動后自動應用）

選項：

1用于真空測量的模擬I/O卡(1表)

2離子源控制應用

技術數(shù)據(jù)：

電源電壓                           100 - 240 V, 50-60 Hz,(最大功耗250 W)

離子束能量(E)                    0.15 - 5 keV, 分辨率 0.01 keV, 紋波 < 0.2 Vpp

發(fā)射電流(l_e)                      0.01 - 10 mA, 分辨率0.01 mA

聚焦（1,2）電壓                0 - 5000 V, 分辨率 1 V, 紋波 < 0.2 Vpp

取樣器電壓（Ex）              60-100%的能量，分辨率0.1%，紋波<0.2 Vpp

離子束位置（Px，Py）        -5 mm - 5 mm,分辨率 0.01 mm

掃描區(qū)域(Δx, Δy)                10 mm × 10 mm, 分辨率 0.01 mm

掃描速度(time/dot)             20 μs - 30 ms

定時器                              雙模定時器0秒-99小時59分

真空測量（可選）                CTR90, TTR91, TTR211, PTR225,

                                           PTR90, ITR90, ITR100, Baratron

                                          ANALOG IN, MKS937A, PG105,

   MG13/14, PKR251/360/361,

      PCR280, ATMION

通信接口                               RS232/485, Ethernet

通信協(xié)議                                   MODBUS-TCP

用戶界面                         7英寸TFT顯示屏，帶觸摸屏，數(shù)字編碼器

界面語言                            英語，德語，波蘭語

尺寸                          483 x 133 x 437毫米（寬×高×深），19〃可安裝機架

重量（大約）                               12kg